1. Лазерді анықтау басы және үлгіні сканерлеу кезеңі біріктірілген, құрылымы өте тұрақты және кедергіге қарсы күшті
2.Precision зондты орналастыру құрылғысы, лазерлік нүктені туралау өте оңай
3.Бір осьті жетек үлгісі автоматты түрде зондқа тігінен жақындайды, осылайша ине ұшы үлгі сканерлеуге перпендикуляр болады.
4. Мотормен басқарылатын қысымды пьезоэлектрлік керамикалық автоматты анықтаудың интеллектуалды инені беру әдісі зонд пен үлгіні қорғайды
5. Автоматты оптикалық позициялау, фокустауды қажет етпейді, нақты уақыттағы бақылау және зонд үлгісін сканерлеу аймағын орналастыру
6.Көктемгі суспензия соққыға төзімді әдіс, қарапайым және практикалық, жақсы соққыға төзімді әсер
7. Металлдан қорғалған дыбыс өткізбейтін қорап, кірістірілген жоғары дәлдіктегі температура мен ылғалдылық сенсоры, жұмыс ортасын нақты уақыт режимінде бақылау
8. Біріктірілген сканер сызықты емес түзету пайдаланушы редакторы, нанометрлік сипаттама және өлшеу дәлдігі 98% жоғары
| Жұмыс режимі | түрту режимі, түрту режимі |
| Қосымша режим | Үйкеліс/бүйірлік күш, амплитуда/фаза, магниттік/электростатикалық күш |
| күш спектрінің қисығы | FZ күш қисығы, RMS-Z қисығы |
| XY сканерлеу диапазоны | 20*20um, қосымша 50*50um, 100*100um |
| Z сканерлеу ауқымы | 2,5 мм, қосымша 5 мм, 10 мм |
| Сканерлеу рұқсаты | Көлденең 0,2нм, Тік 0,05нм |
| Үлгі өлшемі | Φ≤90мм, H≤20мм |
| Сахналық саяхат үлгісі | 15*15мм |
| Оптикалық бақылау | 4X оптикалық объективті линза/2,5 мм рұқсат |
| Сканерлеу жылдамдығы | 0,6Гц-30Гц |
| Сканерлеу бұрышы | 0-360° |
| Жұмыс ортасы | Windows XP/7/8/10 операциялық жүйесі |
| Коммуникациялық интерфейс | USB2.0/3.0 |
| Соққыларды сіңіретін дизайн | Серіппелі аспалы/металдан қорғалған қорап |
